1. veeco,mocvd有什么方面的耗材
1、生产原材料类 蓝宝石衬底（图形衬底或平面衬底）、有机源（镓源、镁源、铝源等）、氨气、高纯氮、高纯氢2、设备易损件 石墨盘（100多炉换，看工艺了）、加热系统备件（没问题的话能用年把）、尾气过滤器（常换） Veeco有些型号的设备带有小型气体纯化器，此类不能再生，也应该算耗材之一吧。3、配套耗材 手套、无尘布、无水乙醇、尾气中和用的酸等