A. 什么是芯片制造的Track和Scanner设备
半导体制造中的Track和Scanner都是常见的设备,但是它们的作用和功能有所不同。
Track是半导体制造中的一种设备,主要用于芯片的湿法处理。
Track通常由多个处理单元组成,包括清洗单元、蚀刻单元、涂胶单元等。Track的主要作用是对芯片表面进行各种湿法处理,如去除污染物、沉积化学品、涂覆光刻胶等,以便后续的光刻、蚀刻等工艺步骤能够正确地进行。
Scanner则是半导体制造中的另一种设备,主要用于芯片的光刻。
Scanner使用光学技术,将模板上的芯片图案照射到硅片表面,形成微米级别的图案。Scanner的主要特点是分辨率高、精度高、速度快。目前,Scanner已经成为半导体制造中不可或缺的工具,被广泛应用于芯片制造的各个领域。
因此,Track和Scanner的区别在于,Track主要用于芯片的湿法处理,而Scanner则主要用于芯片的光刻。两者的作用不同,但在半导体制造的整个生产过程中都起着重要的作用。