㈠ 请问XPS是一种什么材料检测方法
XPS有4种含义：1.一种电子文件格式。 2.挤塑聚苯乙烯泡沫板。 3.X射线光电子能谱分析 。4.发泡聚苯乙烯。不知道你指哪方面的。
XPS电子文件格式 是XML Paper Specification（XML文件规格书）的简称，是一种电子文件格式,它是微软公司开发的一种文档保存与查看的规范。这个规范本身描述了这种格式以及分发、归档、显示以及处理XPS 文档所遵循的规则。XPS 是一种版面配置固定的电子文件格式，可以保存文件格式，而且具有档案共享的功能使用者不需拥有制造该文件的软件就可以浏览或打印该文件，为微软对抗Adobe PDF格式的利器。在在线检视或打印 XPS 档案时，可以确保其格式与您希望的一样，而且其它使用者无法轻易变更档案中的数据。
㈡ XPS&FTIR是什么
是X光电子能谱和红外光谱。
XPS=X-ray Photoelectron Spectros X射线光电子能谱分析。FTIR 傅氏转换红外线光谱分析仪用于半导体制造业。FTIR仍利用红外线光谱经傅里叶变换进而分析杂质浓度的光谱分析仪器。
㈢ 物理实验中要用到的仪器中的XPS，它具体是什么设备，市场价格是多少钱
目前主要的xps仪器生产厂家有：
1.ULVCA-PHI公司，原美国phisical electronic公司，产品型号有：phi-5000Versaprobe系列，Quantera系列；
2.岛津公司，原来的英国kratos公司，又是一家被日本公司收购的仪器公司，主要代表产品为：kratos-ultra DLD；
3.Thermal VG公司，产品的系列较多，K alpha, theta 300, theta 300xt, theta probe, ESCALAB250等等。
XPS可以用来测量：
1，元素的定性分析。可以根据能谱图中出现的特征谱线的位置鉴定除H、He以外的所有元素。
2，元素的定量分析。根据能谱图中光电子谱线强度（光电子峰的面积）反应原子的含量或相对浓度。
3，固体表面分析。包括表面的化学组成或元素组成，原子价态，表面能态分布，测定表面电子的电子云分布和能级结构等。
4，化合物的结构。可以对内层电子结合能的化学位移精确测量，提供化学键和电荷分布方面的信息。
5，分子生物学中的应用。Ex：利用XPS鉴定维生素B12中的少量的Co。
美国PHi5000型价格在60万美元左右，Qutum2000型则更贵。